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砷化镓材料涂胶前预处理烘烤箱,百级无尘烘箱

发布日期 :2018-04-10 16:18访问:1次发布IP:180.173.56.203编号:4259079
品牌:
上海旦顺
分 类
干燥设备
单 价
140000.00元/台
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供货总量
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详细介绍

砷化镓材料涂胶前预处理烘烤箱,百级无尘烘箱

一.用途:

无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCDCMOSIS、医药、实验室等生产及科研部门。

二.特点:

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100

2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)

4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

三.产品技术参数:

1.无尘等级:Class 100;

2.温度范围: +60 +250℃;

3.升温速度:常温~+200,升温速度>6/min  ,

4.温度均匀度:±2.5;(空载)

5.温度度:±1℃(空载)

6.设备型号:

型号

工作室尺寸(mm

外形尺寸(mm

加热功率

层板

COL-2D(双腔)

W600×H500×D600

W1655×H1850×D1250

14kw

2

7.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;

8.内胆材料:采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE

9.中桶材料:采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)

10.保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K级高密度高保温板制造。

11.电 热 器:采进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。

12.温 控 器:采用日本OMRON E5A型温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,度±0.3%FS

13.完善的安全保护措施:漏电保护/过热保护报警/电机保护报警/ 门锁工作时门自动锁/异常显示(三色警示灯


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